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愛發(fā)科真空計G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元大氣壓近旁（離子規(guī)壓力：-100kPa～10kPa）可以進行高精度測量的采用半導(dǎo)體型薄膜素子的壓力傳感器單元。為了可以對應(yīng)高真空條件下的連續(xù)運轉(zhuǎn)的材質(zhì)，采用了SUS316L。愛發(fā)科真空計G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元
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復(fù)合真空計G-TRAN系列復(fù)合真空計G-TRAN系列高真空環(huán)境下測定，對真空計的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測定子污垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對該愿望，開發(fā)了在嚴酷環(huán)境下長久，高精度測定的電離真空計。
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日本愛發(fā)科電離真空計GI-M2/GI-D7維修保養(yǎng)可以測量中真空～超高真空領(lǐng)域的熱陰極電離真空計。10+1?10-8Pa（金屬管類型、GI-M2）、10-1?10-6Pa（玻璃管類型、GI-D7）日本愛發(fā)科電離真空計GI-M2/GI-D7維修保養(yǎng)
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愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)ST2-1/ST2-2真空環(huán)境下測定，對真空計的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測定子污垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對該愿望，開發(fā)了在嚴酷環(huán)境下長久，高精度測定的電離真空計。愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)ST2-1/ST2-2
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