日本KASHIYAMA干式真空泵SDL20E50產(chǎn)品圖片
簡單介紹
KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術(shù)的研究，不斷開發(fā)進取，在半導體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽。尤其在半導體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評價與信賴。
KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。并，除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應用。
SDL系列
支持放大晶圓和FPD
通過組合可以實現(xiàn)大排量。 我們將回應超過150,000升/分鐘的要求。
更短的節(jié)拍時間。
通過確保大氣側(cè)排氣速度，高速抽空大型負載鎖定室。
值得信賴的真空技術(shù)。 一個多樣化的產(chǎn)品組，具有的動力。
Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶的廣泛信賴，包括半導體和液晶制造領(lǐng)域。
我們多年來培養(yǎng)的真空技術(shù)已成為這種信任的基礎。
特別是，一系列干式泵已成為半導體制造工藝的標準，是一種可以說是這種真空技術(shù)的高潮的產(chǎn)品，并且得到了客戶的高度贊譽，它在*困難的工藝中表現(xiàn)出*可靠的性能。
不僅是干泵，還有機械增壓泵，真空排氣設備等。由Kashiyama的真空技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組在多個領(lǐng)域展示了它的強大功能。
日本KASHIYAMA干式真空泵SDL20E50特點
采用優(yōu)良的倉庫性能的立式螺絲
結(jié)構(gòu)材料和溫度設定導致的高耐腐蝕性
| 仕様 / 型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
| *大排気速度 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
| [L/min] *1 | |||||||
| 到達圧力 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5 | |||
| [Pa] *1 | |||||||
| 電源電圧 | 3相 AC200～220V,?380～480V | 3相 AC380～440V | |||||
| (50/60Hz) | |||||||
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