英國愛德華渦輪分子泵STP-XA3203C、STPXA4503C ISO320F

概述

STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能，并提高所有氣體的吞吐量。 

此泵基于新的平臺設(shè)計(jì)，提供各種功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。

其出色的性能既適用于溫和的應(yīng)用環(huán)境，也適用于嚴(yán)苛的環(huán)境，例如半導(dǎo)體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

應(yīng)用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
• MBE
• 擴(kuò)散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負(fù)載鎖真空腔
• 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

良好的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)  

• 增強(qiáng)的 H2、N2 和 Ar 性能

• 改進(jìn)了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內(nèi)的性能

• 免維護(hù)

5 軸磁懸浮系統(tǒng)  

• 無污染

• 低振動(dòng)

創(chuàng)新性轉(zhuǎn)矩管理  

• 獲得轉(zhuǎn)矩減少機(jī)械裝置

優(yōu)化的溫度管理系統(tǒng)  

• 高溫 TMS 能力

• 低沉積

• 內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置

• 更高的氣體吞吐量（加熱和未加熱）

• 延長壽命

• 可用于嚴(yán)苛制程英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

認(rèn)證  

• 符合 SEMI®，具有 CE 標(biāo)記，列于 UL 中

技術(shù)數(shù)據(jù)

 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修

常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修

紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修

廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修

荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修

濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修

一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。