G-TRAN系列 多離子規(guī)
SH2-1/SH2-2
ULVAC開發(fā)不同測定范圍的測定子可連接換能器型『G-TRAN 系列多離子規(guī)』(特許申請中)，并進(jìn)行制品化。過去復(fù)數(shù)方式原理組合成一個匡體的復(fù)合真空計，「一個測定子的故障導(dǎo)致測定子需要全部更換」「測定子結(jié)構(gòu)復(fù)雜容易故障」「測定子價格高」等的客戶反饋經(jīng)常聽到，如果是這種新方式，可以進(jìn)行廣帶域測定，運(yùn)行費(fèi)用大幅削減，對應(yīng)低環(huán)境負(fù)荷。愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2?
特點(diǎn)
? 廣域測定：從大氣壓到高真空領(lǐng)域（10+5?5×10-8Pa）可以進(jìn)行測定（SPU?SAU同時使用的場合）
? 不同測定范圍的測定子可以連接：多離子規(guī)(特許申請中)的采用導(dǎo)致可以選擇適合用途的測定子
? 正確的大氣壓測定：大氣壓確認(rèn)容易過去正確可能(使用SAU場合)
? 低環(huán)境負(fù)荷對應(yīng)：針對測定子進(jìn)行必要的更換，盡可能降低運(yùn)行成本費(fèi)
? 辨認(rèn)性提升：搭載可以確認(rèn)異常的LED
? 保養(yǎng)性：測定子的更換容易
? 測定值輸出信號：壓力0-10V輸出(信號輸出)
? 控制輸出信號：設(shè)定值3點(diǎn)輸出可能(SH2-1)
? 串行通信規(guī)格：RS232C/RS485通信可能（SH2-2）
? 適合規(guī)格：CE標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)
愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2?
用途
? 太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體，電子部品為主的各種制造裝置的高真空領(lǐng)域過程控制用
? 內(nèi)聯(lián)式，枚葉式等多種過程室搭載的各種制造裝置的高真空領(lǐng)域的到達(dá)壓力確認(rèn)用
? 高真空?超高真空裝置的壓力測定用
規(guī)格
| 型號 | SH2-1 | SH2-2 | |
| 規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通信規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器 | M-34(NW16)、M-35(NW25)、M-36(UFC070) | ||
| 可以連接的傳感器 | 多離子規(guī)傳感器：1套 皮拉尼真空計SPU：1套（可選） 大氣壓傳感器SAU：1套（可選） | ||
| 取樣時間 | 70ms 4次的移動平均處理 | ||
| 測定值輸出td> | 輸出電壓 DC 0?10V LOG輸出 0.75V/1位 壓力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ * 兼有設(shè)定值調(diào)整用的輸出電壓(僅限ST2-1) | ||
| 更新時間 | 50msec | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 開路集電極輸入，負(fù)邏輯 * FIL ON/OFF信號はモードにより使用方法が異なる | – | |
| 控制輸出信號 | 傳感器故障，設(shè)定值1/2/3、排放驅(qū)動器、 燈絲電力監(jiān)視 額定：24VMAX、50mAMAX、飽和電壓1V | – | |
| 串行通信規(guī)格 | – | RS232C/RS-485 | |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、錯誤LED (取決于模式改變閃爍) FIL： 有效發(fā)光的LED | ||
| SET1： 設(shè)定值1LED SET2： 設(shè)定值2LED SET3： 設(shè)定值3LED | – | ||
| 排放電流 | 1mA(1×10-3Pa以下)、10μA | ||
| DEGAS | 電子碰撞解吸方式（電子轟擊）1mA、330V | ||
| 傳感器耐壓 | 2×10+5Pa（壓力） * 法蘭或夾子等的耐壓力需要另外考慮 | ||
| 傳感器內(nèi)容積 | 34cm3（M-34） | ||
| 使用溫度范圍 | 10?50ºC | ||
| 使用濕度范圍 | 15?80%(無結(jié)露) | ||
| 儲藏溫度 | -20?65ºC(當(dāng)斷電時，無結(jié)露) | ||
| IP防護(hù)等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC20?28V (紋波，噪聲低于1%) 19W以下(當(dāng)接通電源時156W) | ||
| 輸入輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺） | ||
| 重量 | 控制器：約530g B-A測定子(M-34)：63g | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 144mm×75mm×62mm以下(控制器單元) | ||
| 適合規(guī)格 | CE | ||
| 選 項 | 多離子規(guī)傳感器 | M-34(NW16)、M-35(NW25) 材質(zhì)：燈絲1-Ir/Y2O3涂層、 燈絲2-W(鎢)、 其他-PtC?Mo、SUS、W | |
| 皮拉尼 | SPU | ||
| 皮拉尼規(guī)傳感器 | WP-16(NW16) 材質(zhì)：燈絲Pt、 其他－BS/Ni、電鍍、Ni、焊接 | ||
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | SPU用0.5m、SAU用0.5m | ||
| 顯示單元 | 1CH：Model ISG1 (DC24V電源使用) 4CH：Model IM1R1 (DC24V電源使用) 、 Model IM2R1 (AC100V電源使用) | ||
| 顯示單元電纜 | SH2?顯示單元間電纜 2m、5m、10m、15m、20m | ||
■ 各模式規(guī)格：可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規(guī)單體模式，皮拉尼真空計與組合模式，皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安
日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
| 模式 | SH2-1/SH2-2 單體模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU 組合模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 組合模式 |
| 測定壓力范圍 | 5×10-8?1×10+1Pa | 5×10-8?1×10+4Pa | 5×10-8?1×10+5Pa |
| 測定精度 | 5×10-8?1×10+1Pa： ±15% | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 1.0×10+4?1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa? 基準(zhǔn)溫度25ºC) |
| 重復(fù)性精度 | 1×10-6?1×10-1Pa： ±2% | ||
| 連接圖 (例) |  |  |  |
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