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產(chǎn)品展示
  首頁 >>> 產(chǎn)品展示 >>> 萊寶 >>> 萊寶真空計 >>> LEYSPEC view 100萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
產(chǎn)品名稱: 萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
產(chǎn)品時間: 2019-01-21
產(chǎn)品型號: LEYSPEC view 100
產(chǎn)品特點: LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA
秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100 的詳細介紹

LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA

秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:檢漏判斷真空品質(zhì)檢測工藝氣體提高品質(zhì)和良品率故障診斷分析判斷低溫泵再生周期產(chǎn)品類別   產(chǎn)品系列分別提供了100、200、300原子質(zhì)量單位的解決方案。
LEYSPEC view 100殘余氣體分析儀RGA

秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.

萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

RGA2.jpg

真空系統(tǒng)泄漏示意圖-安博元

image.png


萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:

  • 檢漏

  • 判斷真空品質(zhì)

  • 檢測工藝氣體

  • 提高品質(zhì)和良品率

  • 故障診斷分析

  • 判斷低溫泵再生周期

 

產(chǎn)品類別

   產(chǎn)品系列分別提供了100、200、300原子質(zhì)量單位的解決方案。

  • LEYSPEC view版特別適用于高真空設(shè)備,科研、環(huán)境氣氛檢測及追蹤中的殘余氣體分析。

  • LEYSPEC ultra版用于復(fù)雜的殘余氣體分析,靈敏度高,耐烘烤溫度高,可檢分壓低。

    萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶受益:

  • 過程可控

  • LEYSPEC自帶數(shù)顯,易于現(xiàn)場管理

  • 贈送軟件易于使用及分析并有報警功能

     

  •  

    image.png

 

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應(yīng)用:

  • 半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

  • 鍍膜、顯示行業(yè)

  • 真空熱處理

  • 真空干燥

  • 研發(fā)

  • 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 常熟鎮(zhèn)江常州揚州泰州南通南京啟萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 東海門如皋海門海安如東宿遷徐州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 珠海廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 石家莊天津長春吉林濟南青島威海萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 德州連云港昆明九江安慶萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

 

Leybold Name

LEYSPEC view 100

LEYSPEC view 100S

LEYSPEC view 200

LEYSPEC view 200S

LEYSPEC ultra 200S

LEYSPEC ultra 300S

Mass Range (amu)

1-100

1-100

1-200

1-200

1-200

1-300

Mass filter type

QMS

QMS

QMS

QMS

QMS

QMS

detector type

Faraday   cup

EM/Faraday   Cup

Faraday   cup

EM/Faraday   Cup

EM/Faraday   Cup

EM/Faraday   Cup

Sensitivity (A/mbar)

1x10-5

400/1x10-5

1x10-5

400/1x10-5

400/2.5x10-4

400/2.5x10-4

Minimum detectable 
    partial pressure (mbar)

1x10-10

1x10-14

1x10-10

1x10-14

1x10-11

1x10-12

Max operating pressure (mbar)

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

Filament material

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

operating temp (°C)

10-40

10-40

10-40

10-40

10-40

10-40

Max sensing temp (°C)

120

120

120

120

250

250

Max. bake out temp (elec. removed) (°C)

250

250

250

250

300

300

connection flange

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

Power input

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

Weight (kg)

2,6

2,84

2,6

2,84

3,21

3,21

IP

30

30

30

30

30

30

Serial communication

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

Software

ECA

ECA

ECA

ECA

ECA

ECA

Resolution

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

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