氦質譜檢漏儀是一種靈敏度很高且常用的檢漏技術儀器。在真空設備泄漏情況的檢查之中也有專業(yè)的儀器保證了檢查效果的穩(wěn)定性，而且氦質譜檢漏儀的線路檢測能力得到了更好的提升，該所產品也在我國具體泄漏問題的解決上帶來了更多的措施，在我國真空問題的檢查之上這種氦質譜檢漏儀憑借著其強大的優(yōu)勢獲得了更好的應用，今天來了解下氦質譜檢漏時的誤差來源有哪些，以便更好地降低或消除測量誤差。

　　檢漏儀氦質譜檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括以下幾個方面：

　　1.氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差；

　　2.進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差；

　　3.所用標準漏孔的標稱漏率有誤差；

　　4.氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差；

　　5.校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同；

　　6.檢漏儀的性能不穩(wěn)定；

　　7.氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差；

　　8.后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。